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只要一談到金屬蝕刻,其蝕刻速度就是一個非常受大家關注的問題,同時也會發現不管哪種文獻都多次講到需要快的蝕刻速度。但蝕刻速度并不是越快越好,這要具體情況具體分析,這個具體情況就是對深度及蝕刻表面狀態的要求,這個狀態其實就是平滑度,在這兩個要求中關鍵的是蝕刻深度的要求。對于一個需要進行化學蝕刻的產品,不管是要求深的蝕刻還是要求淺的蝕刻都有一個共同的準則,那就是深度的均勻性。蝕刻深度的均勻性主要受4個方面的影響:材料、蝕刻溶液、蝕刻過程的物理參數和蝕刻時間。當需要較深的蝕刻要求時,材料的因素并不重要(材質質量大差例外),同時為了生產效率的需要,要通過對蝕刻溶液濃度、配方組成的調整及蝕刻物理參數的調整來提高蝕刻速度,即便是這樣也不需要“越快越好的蝕刻速度”。因為太快的速度會使溶液成分變化太快，會反過來影響到物理參數的控制難度,同時也會使被蝕刻的金屬表面溶解速度不能一致,使蝕刻后的表面平滑度降低。對常用金屬材料的蝕刻以現有技術水平完全可以做較高的蝕刻速度,可達0.1m/min以上,這么快的速度需要腐蝕能力更強的配方及更高的溫度,為了維持溶液成分的相對穩定可以采用大體積或自動分析調整技術,但在這里就有一個可用于批量生產的防蝕層怎么制作的問題,本書中所講的一定是批量生產而不是實驗室的工作。所以,快的蝕刻速度只是一個相對概念,是在容易控制的同時,防蝕層制作成本可接受、蝕刻深度均勻的前提下,快的蝕刻速度才是有意義的。
對于深度要求淺的蝕刻材料的表面狀態及品粒組織就會對深度的均勻性產生影響,同時如果將蝕刻溶液及物理參數調到快的蝕刻速度,其均勻性將無法控。,付于蝕刻深度超過毫米級的要求,其刻速度達到0.05mm/min時,在生產中會覺得太慢。如果對蝕刻深度要求在0.035m時,其蝕刻速度在O.0lmm/mim時會黨覺得太快。因為金屬蝕刻時并不是所想象的那樣同時在整個金屬表面展開。于材料表面的鈍化等因素有些部位的金屬蝕刻會有遲后效應,特別是對不銹鋼的蝕刻這種現象更為明顯。
影響蝕刻速度的另一個重要因素就是公差,速度越快對公差的精度控制就越困難。比如當一個要求公差為士0.00m的工件,在設計蝕刻工藝時需要確定其蝕刻速度,當然公差一定是和深度相對應的,蝕刻深度越大公差也越大,反之則越小。
綜上所述,可以知道影響確定蝕刻速度的因素主要有蝕刻深度要求及公差要求。對于蝕刻深度大的工件可以設計成高蝕刻速度的工藝方案,當對公差要求高時可采用分次蝕刻的方法進行,即先采用高速度的蝕刻方法,當接近設計要求深度時采用低蝕刻速度的方法來保證公差。對于蝕刻深度淺、公差要求嚴的工件則應采用蝕刻速度較慢的工藝方法。
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